济南博纳热电炉有限公司
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气相沉积炉是一种用于在材料表面沉积薄膜或涂层的热处理设备，通过化学气相沉积（CVD）技术实现。在此过程中，气态前驱物在高温条件下在基底材料表面发生化学反应，生成固态沉积物。这个过程在控制的气氛和精确的温度条件下进行，以确保薄膜的均匀性和特定的物理化学性质。
产品简介：
博纳热CVD/PECVD气相沉积炉是一种基于等离子体化学气相沉积技术的薄膜沉积设备，能够对各种材料进行薄膜沉积，包括金属、半导体、绝缘体等。可广泛应用于微电子、光电、平板显示、储能等领域。
产品特点：
l 最高温度：1200℃（HRE电阻丝加热）。
l 智能化50段可编程自动控制。
l 超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断电。
l 安全保护当炉体漏电时自动断电。
l 炉壳结构，双层风冷结构；表面温度低于50℃。
l 炉膛采用日本技术真空吸附成型的优质氧化铝多晶纤维无机材料，保温性能极佳。
l 304不锈钢KF快卸密封法兰。
l 升温速率 ≦20℃/分。
l 控温精度 ±1℃。
l 薄膜沉积速率高：射频辉光技术，大大的提高了薄膜的沉积速率，沉积速率可达10Å/S。
l 大面积均匀性高：采用了先进的多点射频馈入技术，特殊气路分布和加热技术等，使得薄膜均匀性指标达到8%。
l 一致性高：用半导体行业的先进设计理念，使得一次沉积的各基片之间偏差低于2%。
l 工艺稳定性高：高度稳定的设备保证了工艺的连续和稳定。
l 标配直连式真空泵，极限真空度可达10Pa。
l 标配三路质量流量计。
l 等离子射频电源：大射频功率达500W，输出频率13.56MHz±0.005%，输入电源 208-240VAC, 单相50/60Hz。
可选配件：
● 真空系统可根据客户需求选择（最高真空度可达7x10-4Pa,分子泵真空系统）。
● 可提供混气系统及质量流量计，满足多路气体的混合及流量的精准控制。
● 高清触控屏。
技术参数：
产品名称 | CVD化学气相沉积系统 |
产品型号 | BR-CVD/PECVD |
滑道 | 带滑道，可滑动炉膛，实现快速升温或冷却功能 |
加热区长度 | 400mm 单温区/双温区 |
炉管尺寸 | 直径60x1200mm 外径x长 |
炉管材质 | 高纯石英管 |
工作温度 | ≤1100℃ |
温控系统 | 人工智能PID仪表，自动控制温度 |
温控精度 | ±1℃ (具有超温及断偶报警功能) |
加热速率 | 建议 0~10℃/min |
加热元件 | 高品质电阻丝 |
真空系统 | |
额定电压 | 单相 220V 50Hz |
可通气体 | 氮气、氩气等惰性气体 |
测温元件 | 热电偶测温 |
壳体结构 | 双层壳体结构带风冷系统 |
真空法兰 | 带有进气口，另一端带控压阀，气动泄压阀和放气阀。 |
供气系统 | 四路精密质子流量计，通过触屏来调节气体流量 |
真空系统 | 旋片泵，真空度在空炉冷态可达1pa， 真空计：进口数显真空计实时显示真空度，精度高。 |
气体定量系统 | 整体可以控制压力范围-20kpa到20kpa(相对压力) |
额定电压 | 单相 220V 50Hz |
射频电源（仅PECVD） | |
信号频率 | 13.56 MHz±0.005% |
功率输出范围 | 500W |
最大反射功率 | 500W |
射频输出接口 | 50Ω,N-type,female |
功率稳定度 | ±0.1% |
谐波分量 | ≤-50dbc |
供电电压 | 单相交流（187V-253V） 频率50/60HZ |
整机效率 | >=70% |
功率因素 | >=90% |
冷却方式 | 强制风冷 |
型号 | 炉管直径x加热区长度（mm） | 炉管长度（mm） | 功率（kW） | 最高温度（℃） | 气体控制 | 真空度（Pa） |
|---|---|---|---|---|---|---|
BR-CVD-60 | Φ60×400 | 1200 | 3 | 1200 | 3路 | 10Pa/7x10-3 |
BR-CVD-80 | Φ80×400 | 1200 | 4 | 1200 | 3路 | 10Pa/7x10-3 |
BR-CVD-100 | Φ80×400 | 1200 | 6 | 1200 | 3路 | 10Pa/7x10-3 |
型号 | 炉管直径x加热区长度mm | 功率(kW) | 最高温度最高温度（℃） | 射频电源 | 气体控制 | 真空度（Pa） | |
频率 | 功率 | ||||||
BR-PECVD-60 | Φ60×450 | 4 | 1200 | 13.56MHz±0.005% | 300-500W | 3路 | 10Pa/7x10-3 |
BR-PECVD-80 | Φ80×450 | 5 | 1200 | 3路 | 10Pa/7x10-3 | ||
BR-PECVD-100 | Φ100×450 | 7 | 1200 | 3路 | 10Pa/7x10-3 | ||
